高真空系统

，型号为FJ-620分子泵机组， FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源、高真空检测系统（复合真空计），控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。

恒压控制系统，型号为GZK-PID-103G是一款高真空恒压控制系统，内部含一高真空国产分子泵机组（机械泵VRD-24以及分子泵FF100/110），两种工作状态可进行切换：分子泵工作模式：可启动分子泵机组，从而实现体系的高真空状态。

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