1200℃微型二通道混气CVD系统-合肥科晶

1200℃微型二通道混气CVD系统详细介绍：
1200℃微型二通道混气CVD系统，型号为OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精确度为+/- 1 ℃ 。
【详细参数】

高温炉	壳体	采用双层壳体 炉膛采用多晶氧化铝纤维，最大程度减小能量损失 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
具体参数	功率	1.75KW
	电压	AC -220V
	温度	最高工作温度：1200℃（< 1hr） 连续工作温度1100 ℃ 升温速率 <= 10C/min
	炉管	石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)
	加热区	加热区长度: 8" (200mm)
	温控系统	PID30段程序化控温 控温精度: +/- 1℃
	加热元件	掺钼铁鉻铝（表面涂有氧化锆涂层，使其最大程度延长使用寿命）
两路混气系统	两个浮子流量计量程为16 —100mL/min -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit) 三个机械压力表：-0.1-0.15 MP 混气箱上安装有一不锈钢针阀 后端装有φ6.35卡套接头，无需通电 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7"). 净重: 14 lbs.
真空法兰和配件	标准真空配件: 一个防腐型真空计 一个φ6.35的卡套接头 两个KF25转接头 一个600mm的不锈钢波纹管
防腐型真空计	本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
真空泵	有多种型号真空泵可选
产品净重	100 lbs
产品尺寸	炉体:340 x 300 x 400mm 真空泵:440 x 160 x 300mm 混气系统: 340 x 300 x 180mm
运输重量	200lbs
开门断电	为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
质保期	一年质保期（不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件）