混气系统

多通道质子流量计控制系统详细介绍：

防腐型3路浮子混气系统详细介绍：

4路质子流量计混气系统详细介绍：

3路质子流量计供气系统详细介绍：

气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

混气系统3路浮子这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。

小型二通道混气系统（质子流量计）详细介绍：

混气系统2路浮子--CGM-2F详细介绍：