1200℃三温区三通道混气CVD系统详细介绍：
1200℃三温区三通道混气CVD系统，型号为：OTF-1200X-80-III-F3LV。是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，它是由管式炉，三路浮子流量供气系统组成，其真空度可达到 10-2 torr。
1200℃三温区三通道混气CVD系统技术参数：
| 壳体结构 |
- 双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于60度
- 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失，环保节能
- 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
- 可开启式，更换炉管方便
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| 功率 |
5 KW |
| 电压 |
AC 208-240V单相, 50/60 Hz |
| 加热元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| 最高工作温度 |
1200℃ |
| 连续工作温度 |
1100℃ |
| 最大加热速率 |
≤20 ℃/min |
| 石英管&密封法兰 |
- 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内
- 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰，压力表和阀门
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| 加热区长度 |
- 三个温区长度: (880mm, 35″ in total)
- 温区 1: 220mm (8.6″ )
- 温区 2: 440mm (17.3″)
- 温区 3: 220 mm (8.6″) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
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| 温控系统 |
- 三个精密温度控制器，可独立控温
- PID控制方式,通过PWM固体继电器。
- 30段可编程智能温度调节仪，并可设置30段升降温程序.
- 带有过热和断偶保护功能
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| 控温精度 |
+/- 1℃ |
| 真空密封系统 |
- 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）.
- 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5×10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵，真空度可以达到10-4 torr.
- 漏气率 < 5 m-torr / min
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| 真空泵 |
采用双旋机械泵，机械泵上安装有进口的油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米 |
| 数字式真空显示计 |
可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8×10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换 |
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气体流量计和压力表
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- 三个浮子流量计，能够检测到气体的流
- 三路浮子量程分别为
- 10-100 cc/min.
- 16-160 cc/min.
- 25-250 cc/min
- 内部安装有一混气罐
- 有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上，可以检测气体压力及混合槽的压力
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| 阀门 |
四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上，用于控制气体的流量 |
| 外形尺寸 |
- 炉子: 1100 X 450 x 670mm
- 底部移动架: 600x600x597mm
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| 开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
| 净重 |
约 90 Kg |
| 运输重量 |
245 lbs |
| 质保期 |
一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件 |